| 国家/地区 | 中国(24) |
| IPC部 |
C(25)
|
| IPC大类 |
C23(25)
H01(6)
C01(4)
C09(3) C22(3) C25(3) B01(2) B05(2) C30(2) |
| IPC小类 |
C23C(25)
H01L(6)
C01B(4)
C09D(3) C22C(3) B01J(2) C25D(2) C30B(2) |
| IPC |
C23C014/58(25)
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| 发明人 |
CAO Y(2)
DU X(2)
HAO M(2)
LI C(2) LI J(2) LIU M(2) WANG X(2) WU H(2) ZHANG C(2) ZHANG Y(2) |
| 公开年 | 2021(13) 2022(10) 2023(2) |
| 申请年 |
2021(25)
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| 专利权人 | DONGGUAN SAE.(2) LIAONING FEN.(2) UNIV XIAN JI.(2) |
PENG H, YANG Y, CAO Y, TANG J, YAN R, DU Y
XIANG J, JIA M, HAN T, TANG L
DUAN J, DENG L, LV T, WU H, ZHANG W, XIONG W
ZHENG X, LIU W, YU X, YU Y, LIU J, YANG X
