| 国家/地区 |
欧洲专利局(EPO)(6)
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| IPC部 |
B(6)
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| IPC大类 |
C23(6)
C01(5)
H01(4)
B32(3) |
| IPC小类 |
C23C(6)
C01B(5)
H01L(4)
B32B(3) C23F(2) |
| IPC |
C23C016/01(6)
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| 发明人 | |
| 公开年 | 2016(2) 2021(2) |
| 申请年 | 2014(2) 2020(2) |
| 专利权人 | EV GROUP THA.(2) |
BURGGRAF J, JUERGEN B
MOKKAPATI V R, POVAZAY B, UHRMANN T, ULLMANN T, MOKKAPATI V R S S, SARMA M V R, THOMAS A
HEISE S E, BEDWORTH P V, SWETT J L, SINTON S W
JOHNSON B Y, MAZUMDER P, SONI K K
MATHARU J, THOMAS S, TEO K B K, JOUVRAY A, JOUBEUREI A, MATARU J, TOMASEU S
STRUDWICK A, SCHWAB M G, MUELLEN K, SACHDEV H, WEBER N, BINDER A, MULLEN K, STRUDWICK A J, WEBER N E
