国家/地区 欧洲专利局(EPO)(6)
IPC部 B(6)
IPC大类 C23(6)
IPC小类 C23C(6) C01B(5) H01L(4)
B32B(3) C23F(2)
IPC C23C016/01(6)
发明人
公开年 2016(2) 2021(2)
申请年 2014(2)  2020(2) 
专利权人 EV GROUP THA.(2)