国家/地区 美国(5) 日本(3) 台湾(3) 世界知识产权组织(3) 韩国(2)
IPC部 C(7) B(5) H(4)
IPC大类 C23(7) C01(5) B82(4)
H01(4) B01(2) B05(2)
B32(2)
IPC小类 C23C(7) C01B(5) B82Y(4)
B01J(2) B05D(2) B32B(2)
H01B(2) H01L(2)
IPC C23C016/02(7)
发明人
公开年 2013(7)
申请年 2012(7)
专利权人

SULLIVAN M M E, HILTY R D, MARTENS R I, ZHENG M, HEMOND J H B, LIU Z, SULLIVAN MALERVY M E, SULLIVAN MALERVY M, HILTY R, MARTENS R, HEMOND J, SULLIVANMALERVY M E

KIM K H, MAENG K S, PARK C W, CHA S W, HONG S Y, HONG B H, JUNG M H, KIM K E, PARK S B, BEOM P S, EUN K G, HUI H B, HUI J M, HYEONG K G, SEOP M G, U P C, WON C S, YEON H S