国家/地区 中国(10) 美国(7) 世界知识产权组织(6) 日本(5) 韩国(5) 欧洲专利局(EPO)(2)
IPC部 C(16)
IPC大类 C23(16)
IPC小类 C23C(16) C01B(10) B01J(3)
B08B(2) B32B(2) B82Y(2)
C25F(2) C30B(2) H01L(2)
IPC C23C016/02(16)
发明人 ZHANG X(4) DENG K(2) JIN H(2)
LIU Z(2) PENG P(2) QI X(2)
YANG H(2) ZHANG W(2) ZHANG Z(2)
公开年 2015(10) 2014(5)
申请年 2014(16)
专利权人 CHANGZHOU 2D.(2)