国家/地区 美国(7) 日本(5) 韩国(5) 世界知识产权组织(4) 欧洲专利局(EPO)(3) 中国(2)
IPC部 B(8)
IPC大类 B05(8)
IPC小类 B05D(8) C23C(8) B32B(6)
C01B(6) B82Y(5) H01L(4)
C30B(3) H01B(2)
IPC C23C016/02(8)
发明人
公开年 2011(2) 2013(2)
申请年 2010(2)  2012(2) 
专利权人

SULLIVAN M M E, HILTY R D, MARTENS R I, ZHENG M, HEMOND J H B, LIU Z, SULLIVAN MALERVY M E, SULLIVAN MALERVY M, HILTY R, MARTENS R, HEMOND J, SULLIVANMALERVY M E