国家/地区 美国(4) 中国(3)
IPC部 B(6) C(6) H(2)
IPC大类 B82(6)
IPC小类 B82Y(6) C23C(6) C01B(3)
H01L(2)
IPC C23C016/02(6)
发明人
公开年 2021(4)
申请年 2021(6)
专利权人