国家/地区 | 美国(4) 中国(3) |
IPC部 |
B(6)
C(6)
H(2)
|
IPC大类 |
B82(6)![]() |
IPC小类 |
B82Y(6)
C23C(6)
C01B(3)
H01L(2) |
IPC |
C23C016/02(6)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2021(4) |
申请年 |
2021(6)![]() |
专利权人 |
LEE C, JUNG A, SHIN H, SHIN K, SHIN K W, SHIN H J, JUNG A R, LEE C S
ELSAYED K A M, MAAROUF A A