国家/地区 中国(12) 韩国(6) 美国(5) 世界知识产权组织(3) 台湾(2)
IPC部 C(21) B(5) H(4)
G(2)
IPC大类 C23(21)
IPC小类 C23C(21) C01B(6) H01L(3)
B32B(2) C23F(2) C30B(2)
IPC C23C016/02(21)
发明人 DONG Y(2) HONG Y(2) LI D(2)
PARK B J(2) YE Y(2) YE Z(2)
YOON S G(2) ZHANG J(2) ZOU W(2)
公开年 2018(21)
申请年 2017(13)  2018(5)  2016(3) 
专利权人 UNIV IND AC.(2) UNIV NANCHAN.(2)