国家/地区 韩国(8) 美国(5) 中国(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(8)
IPC大类 C23(8) C01(7) H01(5)
B01(2)
IPC小类 C23C(8) C01B(7) H01B(4)
B01J(2)
IPC C23C016/06(8)
发明人
公开年 2014(8)
申请年 2013(4)  2012(2)  2014(2) 
专利权人 HANWHA AEROS.(2) SAMSUNG TECH.(2)