国家/地区 美国(6) 世界知识产权组织(5) 韩国(4) 中国(2)
IPC部 B(7)
IPC大类 B44(7)
IPC小类 B44C(7) C01B(7) C23C(7)
B82Y(5) B32B(4) C03C(4)
H01L(4) C23F(2) C25F(2)
H01B(2)
IPC C23C016/26(7)
发明人 WOO Y(2) WOO Y S(2)
公开年 2013(3) 2012(2)
申请年 2012(3) 
专利权人 SAMSUNG ELEC.(2)

BAE S, CHUNG H, HEO J, JUNG M, KANG S, SEO D, SEO S, WOO Y, BAE S K, CHUNG H J, HEO J S, JUNG M H, KANG S R, SEO S A, WOO Y S, JUNG H J, HUH J S, YEO R, HUH J, JUNG H