国家/地区 美国(6) 日本(4) 韩国(4)
IPC部 B(8)
IPC大类 B01(8)
IPC小类 B01J(8)
IPC C23C016/26(8)
发明人
公开年 2016(8)
申请年 2016(4)  2015(3) 
专利权人