国家/地区 美国(5) 中国(3) 韩国(3)
IPC部 C(8)
IPC大类 C23(8)
IPC小类 C23C(8) C01B(3) H01B(3)
H01L(3) H01G(2)
IPC C23C016/26(8)
发明人 CHEN Z(2)
公开年 2018(5) 2019(2)
申请年 2018(8)
专利权人