国家/地区 美国(12)
IPC部 B(12)
IPC大类 C01(12) C23(12) B01(6)
B82(6) H01(6) B32(2)
G09(2)
IPC小类 C01B(12)
IPC C23C016/26(12)
发明人 CHOI J(2) JUNG M(2) LEE Y(2)
MOON J(2)
公开年 2014(12)
申请年 2013(8)  2014(3) 
专利权人 LG ELECTRONI.(2) SAMSUNG ELEC.(2) SHENZHEN CHI.(2)