国家/地区 韩国(7) 美国(6) 中国(2) 日本(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 B(7)
IPC大类 B01(7)
IPC小类 B01J(7)
IPC C23C016/26(7)
发明人
公开年 2012(2) 2013(2)
申请年 2012(3) 
专利权人 HANWHA AEROS.(2) HANWHA TECHW.(2) SAMSUNG ELEC.(2) SAMSUNG TECH.(2)