国家/地区 台湾(7)
IPC部 C(7)
IPC大类 C23(7)
IPC小类 C23C(7) C01B(6) H01L(4)
B32B(2) B82Y(2) G01N(2)
IPC C23C016/26(7)
发明人 JOUVRAY A(2) TEO K B K(2)
公开年 2015(5) 2016(2)
申请年 2014(7)
专利权人 AIXTRON SE(2)