国家/地区 中国(6) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(9)
IPC大类 C23(9)
IPC小类 C23C(9) H01L(3) C01B(2)
C22C(2)
IPC C23C016/30(9)
发明人 ZHANG L(3)
公开年 2022(6) 2023(3)
申请年 2022(9)
专利权人 SHANDONG YUN.(2)