国家/地区 中国(9)
IPC部 B(9)
IPC大类 C23(9)
IPC小类 C23C(9) B82Y(6) H01L(5)
C30B(3) C01B(2)
IPC C23C016/34(9)
发明人
公开年 2021(3) 2023(2)
申请年 2020(3)  2022(2) 
专利权人