国家/地区 中国(14)
IPC部 B(14)
IPC大类 B82(14)
IPC小类 B82Y(14)
IPC C23C016/44(14)
发明人 LI J(2)
公开年 2013(3) 2015(3) 2011(2) 2014(2)
申请年 2012(3)  2011(2)  2013(2)  2014(2) 
专利权人