国家/地区 美国(8) 韩国(7) 中国(5) 世界知识产权组织(4) 加拿大(2) 欧洲专利局(EPO)(2) 日本(2)
IPC部 B(14)
IPC大类 B01(14) C23(14) C01(8)
B82(6) H01(4) C25(2)
IPC小类 B01J(14)
IPC C23C016/455(14)
发明人 KIM T(2)
公开年 2021(3) 2022(3) 2014(2) 2016(2) 2023(2)
申请年 2022(4)  2012(2)  2013(2)  2020(2)  2021(2) 
专利权人