国家/地区 中国(12) 韩国(6) 美国(5)
IPC部 C(16)
IPC大类 C23(16) H01(5) C01(4)
B82(2) C30(2) G01(2)
IPC小类 C23C(16) C01B(4) H01L(4)
B82Y(2) C30B(2) G01N(2)
IPC C23C016/50(16)
发明人 LEE C(3) LEE C S(3) SHIN H(3)
SHIN H J(3) BYUN K(2) BYUN K E(2)
SHIN K(2) SHIN K W(2) ZHANG X(2)
ZHOU B(2)
公开年 2021(9) 2020(5) 2022(2)
申请年 2020(16)
专利权人 SAMSUNG ELEC.(3)