| 国家/地区 | 中国(5) 美国(4) |
| IPC部 |
C(8)
|
| IPC大类 |
C22(8)
|
| IPC小类 |
C23C(8)
C22C(5)
C22F(3)
C25D(3) H01L(3) B21C(2) B82B(2) F28F(2) |
| IPC |
C23C018/16(8)
|
| 发明人 |
JANG B Z(2)
JIN P(2)
LIN Y(2)
LU Z(2) TIAN S(2) ZHAMU A(2) |
| 公开年 | 2017(2) 2019(2) |
| 申请年 | 2017(2) 2018(2) 2022(2) |
| 专利权人 | NANOTEK INST.(2) SHENZHEN YUA.(2) |
CHU K, LEE J, JUNGHOON L, CHU K M
MA L, DING Y, YANG T, ZHAN S, JIA D, FAN Z, LI X, LI J, TU J, LI Y, DUAN H
