| 国家/地区 |
中国(13)
|
| IPC部 |
C(13)
B(10)
H(10)
G(5) |
| IPC大类 |
C23(13)
C01(10)
H01(10)
B82(9) B32(4) B05(3) B44(3) B01(2) C03(2) G03(2) G06(2) |
| IPC小类 |
C23F(13)
B82Y(9)
C01B(9)
H01L(7) C23C(5) H01B(5) B32B(4) B05D(3) B44C(3) B01J(2) C03C(2) G03F(2) G06F(2) H01M(2) |
| IPC |
C23F001/00(13)
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| 发明人 | |
| 公开年 | 2012(3) 2018(2) |
| 申请年 | 2009(2) 2011(2) 2012(2) 2022(2) |
| 专利权人 |
XIA Z, SUN C, WANG Y, HUANG S, DENG B, HAN C, YANG J
YANASE Y, YANASE M, LIANG L
NAITO K, AKASAKA Y, YANG T, YOSHINAGA N, YANG T Y, AKITA M
CHIBA Y, YAMAJI T, YOSHIHIRO C, TATSUYA Y, CHIBA G
