国家/地区 美国(5) 韩国(3) 中国(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 B(9)
IPC大类 C01(9)
IPC小类 C01B(9) C23C(9) B82Y(4)
H01L(3) B01J(2) B32B(2)
IPC C23C016/26(9)
发明人
公开年 2022(5) 2021(3)
申请年 2021(9)
专利权人 UNIV SUNGKYU.(2)