国家/地区 美国(5) 世界知识产权组织(5) 日本(4) 欧洲专利局(EPO)(3) 韩国(3) 中国(2)
IPC部 B(6)
IPC大类 C23(6)
IPC小类 C23C(6) C30B(6) C01B(5)
B82Y(3) B32B(2) H01L(2)
IPC C30B025/02(6)
发明人 VEERASAMY V S(2)
公开年 2012(2)
申请年 2012(2) 
专利权人 GUARDIAN IND.(2)