| 国家/地区 | 美国(5) 世界知识产权组织(5) 日本(4) 欧洲专利局(EPO)(3) 韩国(3) 中国(2) |
| IPC部 |
B(6)
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| IPC大类 |
C23(6)
|
| IPC小类 |
C23C(6)
C30B(6)
C01B(5)
B82Y(3) B32B(2) H01L(2) |
| IPC |
C30B025/02(6)
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| 发明人 | VEERASAMY V S(2) |
| 公开年 | 2012(2) |
| 申请年 | 2012(2) |
| 专利权人 | GUARDIAN IND.(2) |
AOTA NATSUKO, AIDA HIDEO, TACHIBANA MASARU, MORISAKO SHIYO, AOTA N, AIDA H, TACHIBANA M, MORISAKO S
DENG P, GUO H, LEI T, ZHANG K, ZHANG Y
VEERASAMY V S, VEERASAMY V
