国家/地区 美国(12)
IPC部 B(12)
IPC大类 C01(12)
IPC小类 C01B(12)
IPC C23C016/04(12)
发明人 NAGEL C J(5) BRODEUR C L(4)
公开年 2021(7) 2013(2)
申请年 2020(5)  2013(2)  2021(2) 
专利权人 QUANTUM ELEM.(5)