| 国家/地区 | 美国(6) 中国(4) 世界知识产权组织(4) 欧洲专利局(EPO)(3) 日本(3) 韩国(2) |
| IPC部 |
C(9)
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| IPC大类 |
C23(9)
C01(6)
H01(4)
B32(2) |
| IPC小类 |
C23C(9)
C01B(6)
H01L(4)
B32B(2) |
| IPC |
C23C016/01(9)
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| 发明人 | |
| 公开年 | 2015(5) 2016(3) |
| 申请年 |
2015(9)
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| 专利权人 |
ZURUTUZA E A, CENTENO P A, ALONSO R B, PESQUERA R A, DE LA FUENTE C J
JOHNSON B Y, MAZUMDER P, SONI K K
PARK C, CHO S, PARK C H, CHO S M
FEI G, GAO X, OUYANG H, LI E, YI H
HAN Z, LI S, LIU Y, REN L, BAI Y, ZHENG Z
JOHNSON A T, GUDIBANDE R R, QI Z J, JOHNSON A, GUDIBANDE R, QI Z
