| 国家/地区 | 美国(8) 中国(3) 韩国(3) 世界知识产权组织(3) |
| IPC部 |
C(11)
|
| IPC大类 |
C23(11)
C01(6)
B82(5)
B32(3) H01(3) B05(2) H05(2) |
| IPC小类 |
C23C(11)
C01B(6)
B82Y(5)
B32B(3) H01L(3) B05D(2) |
| IPC |
C23C016/00(11)
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| 发明人 |
EDDY C R(2)
GARCES N(2)
GASKILL D K(2)
JERNIGAN G G(2) WHEELER V D(2) |
| 公开年 |
2013(11)
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| 申请年 | 2012(5) 2013(3) 2011(2) |
| 专利权人 | US SEC OF NA.(2) |
AVOURIS P, GARCIA A V, SUNG C, XIA F, YAN H
GARCES N, WHEELER V D, GASKILL D K, EDDY C R, JERNIGAN G G
ARNOLD M S, GOPALAN P, SAFRON N S, KIM M, UNG K M
ZHANG W, LI Z, DU C, SHI H
