国家/地区 美国(8) 中国(3) 韩国(3) 世界知识产权组织(3)
IPC部 C(11)
IPC大类 C23(11) C01(6) B82(5)
B32(3) H01(3) B05(2)
H05(2)
IPC小类 C23C(11) C01B(6) B82Y(5)
B32B(3) H01L(3) B05D(2)
IPC C23C016/00(11)
发明人 EDDY C R(2) GARCES N(2) GASKILL D K(2)
JERNIGAN G G(2) WHEELER V D(2)
公开年 2013(11)
申请年 2012(5)  2013(3)  2011(2) 
专利权人 US SEC OF NA.(2)