国家/地区 世界知识产权组织(7)
IPC部 C(7)
IPC大类 C23(7) C01(5) H01(3)
B82(2)
IPC小类 C23C(7) C01B(5) B82Y(2)
H01B(2) H01L(2)
IPC C23C016/02(7)
发明人
公开年 2017(7)
申请年 2017(4)  2016(3) 
专利权人