国家/地区 中国(8) 美国(5) 韩国(4) 世界知识产权组织(4) 欧洲专利局(EPO)(3) 日本(2)
IPC部 C(12)
IPC大类 C01(12)
IPC小类 C23C(12) C01B(10) B82Y(3)
H01L(3) B32B(2) C01G(2)
H01M(2)
IPC C23C016/448(12)
发明人 LI X(3) DUAN Y(2) HUANG D(2)
LI Z(2) SHAO L(2) SHI H(2)
ZHANG Y(2)
公开年 2021(3) 2012(2) 2022(2)
申请年 2011(2)  2016(2)  2020(2)  2022(2) 
专利权人 CHINESE ACAD.(2) CHONGQING GR.(2)