国家/地区 美国(6) 世界知识产权组织(3) 韩国(2)
IPC部 C(7)
IPC大类 C23(7) C01(4) H01(4)
B32(2) B82(2)
IPC小类 C23C(7) C01B(4) B32B(2)
H01L(2)
IPC C23C016/50(7)
发明人
公开年 2016(6)
申请年 2015(7)
专利权人