国家/地区 中国(15)
IPC部 C(15)
IPC大类 C01(15)
IPC小类 C01B(15)
IPC C23C016/54(15)
发明人 LIU Z(4) PENG H(2) WANG X(2)
公开年 2013(3) 2020(3) 2021(3)
申请年 2013(4)  2019(3)  2020(3)  2017(2) 
专利权人 BEIJING GRAP.(3) HANWHA TECHW.(2) SAMSUNG TECH.(2) UNIV PEKING(2)