国家/地区 美国(15) 中国(9) 世界知识产权组织(9) 韩国(8) 日本(7) 欧洲专利局(EPO)(5) 台湾(4) 俄罗斯(2)
IPC部 C(17)
IPC大类 C01(17)
IPC小类 C01B(17)
IPC C23F001/00(17)
发明人 CHIBA Y(3) HONG B H(2)
公开年 2010(3) 2011(3) 2012(3) 2013(3) 2014(2) 2018(2)
申请年 2009(4)  2011(4)  2012(4) 
专利权人 JX NIPPON MI.(3) SAMSUNG ELEC.(2) UNIV SUNGKYU.(2)