国家/地区 美国(7)
IPC部 C(7)
IPC大类 C23(7)
IPC小类 C23C(7)
IPC C30B025/18(6) C23C016/26(4) C30B029/02(4)
C01B031/04(3) C23C014/06(3) C23C014/34(3)
C23C016/02(3) H01L021/02(3) C01B032/186(2)
C23C014/18(2) C23C016/01(2) C23C016/34(2)
C23C028/00(2) H01G011/32(2)
发明人
公开年 2016(3) 2017(3)
申请年 2016(7)
专利权人