国家/地区 日本(7)
IPC部 B(7)
IPC大类 B01(7)
IPC小类 B01J(7)
IPC C23C016/56(7)
发明人 BEDWORTH P V(2) HEISE S E(2) IFUKU R(2)
MATSUMOTO T(2) SINTON S W(2) SWETT J L(2)
公开年 2017(2)
申请年 2016(2) 
专利权人 LOCKHEED MAR.(2) TOKYO ELECTR.(2)