国家/地区 | 中国(6) 日本(6) 世界知识产权组织(6) 美国(5) 台湾(4) 欧洲专利局(EPO)(3) 韩国(3) |
IPC部 |
B(11)![]() |
IPC大类 |
B32(11)![]() |
IPC小类 |
B32B(11)![]() |
IPC |
C23C014/06(11)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2013(2) 2016(2) |
申请年 | 2011(2) 2013(2) 2015(2) |
专利权人 |
NAOYA N, KAZUNORI T, NOSAKA N, TAKANASHI K
BURGGRAF J, JUERGEN B
CHU K, WANG F, HUANG D, LI Y
DIMITRAKOPOULOS C, MAROUDAS D, MUNIZ A R, GASKILL D K
SCHWAB M G, MUELLEN K, SACHDEV H, ITO Y, SCHWAB M G S, MILLEN K
INOUE T, INOUE M, TAMARU H, TSUJIMOTO H, MINAMI N
HWANG C C, JUNG Y G, HWANG H N, JEONG J I, YANG J H, JUNG Y, JEONG J, YANG J, HWANG H, HWANG C, GUK H C, IN J J, HUN Y J, GYUN J Y, NA H H