国家/地区 法国(9)
IPC部 C(9)
IPC大类 C01(9) B82(8) C23(5)
C30(3) H01(3) B01(2)
B81(2) C25(2)
IPC小类 C01B(9)
IPC B82Y040/00(8) C01B031/04(8) C01B031/02(7)
B82Y030/00(6) C23C016/26(4) B01J023/76(2)
B81C001/00(2) C01B032/184(2) C23C016/02(2)
C23C028/00(2) C30B029/36(2) H01L021/02(2)
H01L029/16(2)
发明人 BACSA R(2) OUERGHI A(2) SERP P(2)
ZENASNI A(2)
公开年 2013(8)
申请年 2011(9)
专利权人 CENT NAT REC.(7) CNRS CENT NA.(3) COMMISSARIAT.(3) INST NAT POL.(2)