国家/地区 韩国(24) 世界知识产权组织(6) 中国(2) 美国(2)
IPC部 C(24)
IPC大类 C01(24) H01(6) B82(3)
C23(3) B01(2) C09(2)
C12(2) G01(2)
IPC小类 C01B(24)
IPC C01B031/04(13) C01B031/02(7) C01B032/182(3)
H01L031/18(3) B82Y030/00(2) B82Y040/00(2)
C12Q001/68(2) C23C016/26(2) H01L029/16(2)
H01L031/0352(2)
发明人 CHOI S H(7) KIM S(6) CHOI J W(5)
SUK H C(5) SHIN D H(4) DONG H S(3)
SUNG K(3) CHIO S(2) JIN C(2)
KYONG Y R(2) LEE C M(2) PARK H S(2)
SHIN D(2)
公开年 2016(6) 2014(5) 2013(3) 2015(3)
申请年 2013(6)  2014(6)  2011(3)  2016(3)  2021(2) 
专利权人 UNIV KYUNGHEE IND COOP(24)