国家/地区 美国(20) 中国(16) 世界知识产权组织(10) 韩国(8) 日本(6) 台湾(6) 欧洲专利局(EPO)(4) 英国(2) 印度(2) 新加坡(2)
IPC部 C(32)
IPC大类 C01(32)
IPC小类 C01B(32)
IPC C23C016/52(32)
发明人 NAGEL C J(5) BRODEUR C L(4) ZHANG L(2)
公开年 2021(11) 2013(3) 2016(3) 2017(3) 2022(3) 2012(2) 2014(2) 2023(2)
申请年 2020(7)  2016(5)  2021(5)  2013(4)  2022(4)  2012(2)  2015(2) 
专利权人 QUANTUM ELEM.(5) EMPIRE TECHN.(2) NINGBO INST .(2)