国家/地区 中国(5) 世界知识产权组织(4) 日本(2)
IPC部 C(11)
IPC大类 C01(11)
IPC小类 C01B(11)
IPC C01B032/186(6) C30B029/02(6) C01B032/184(3)
C23C016/26(3) C30B030/02(3) B82Y040/00(2)
C23C016/02(2) C30B001/10(2) C30B023/00(2)
C30B025/10(2) C30B025/18(2) C30B029/62(2)
C30B029/64(2) H01L021/02(2)
发明人
公开年 2023(11)
申请年 2022(8)  2021(3) 
专利权人