国家/地区 美国(7) 韩国(4) 欧洲专利局(EPO)(3) 中国(2) 日本(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(9)
IPC大类 C23(9) C25(9) B82(3)
C01(3) C22(3) F28(2)
H01(2)
IPC小类 C23C(9)
IPC C23C018/16(9)
发明人 JANG B Z(3) ZHAMU A(3) BAE A H(2)
HWANG T S(2) LEE J(2) LEE J H(2)
LIN Y(2) NAM J D(2) OH J S(2)
SON S I(2)
公开年 2019(2)
申请年 2011(2)  2018(2) 
专利权人 NANOTEK INST.(3) SAMSUNG ELEC.(3)

BAE A H, SON S I, NAM J D, LEE J H, HWANG T S, OH J S, LEE H, EAH H B, SANG I S, JAE D N, JOON S O, JUN H L, TAE S H, HWANG T, LEE J, NAN J, PAE A, SUN S, OU J