国家/地区 中国(21)
IPC部 C(21)
IPC大类 C30(21)
IPC小类 C30B(21)
IPC C30B025/18(10) C30B029/02(8) C30B029/40(7)
H01L021/02(4) C30B023/02(3) C30B025/16(3)
C30B029/16(3) C30B029/20(3) C01B032/186(2)
C23C014/18(2) C23C014/35(2) C30B001/10(2)
C30B025/20(2) C30B029/38(2) C30B029/62(2)
发明人 CHEN Y(2) LI Y(2) WANG G(2)
WANG X(2) YANG J(2) ZHANG J(2)
ZHANG L(2) ZHANG S(2)
公开年 2023(21)
申请年 2022(13)  2021(4)  2023(4) 
专利权人 UNIV PEKING(2)