国家/地区 韩国(7)
IPC部 C(7)
IPC大类 C30(7) C01(5) H01(3)
B01(2) C23(2)
IPC小类 C30B(7)
IPC C30B025/18(4) C01B032/186(3) C01B032/194(3)
C01B032/198(2) C23C016/02(2) C30B025/16(2)
C30B029/10(2) C30B029/46(2) H01L021/02(2)
发明人
公开年 2022(4) 2021(2)
申请年 2021(7)
专利权人 UNIV SUNGKYU.(2)