国家/地区 法国(9)
IPC部 C(9)
IPC大类 B82(8) C01(8) C23(4)
C30(3) B01(2) H01(2)
IPC小类 B82Y(8) C01B(8) C23C(4)
C30B(3) B01J(2) H01L(2)
IPC B82Y040/00(7) C01B031/04(7) B82Y030/00(6)
C01B031/02(6) C23C016/26(3) B01J023/76(2)
C01B032/184(2) C23C016/02(2) C23C028/00(2)
C30B029/36(2) H01L021/02(2)
发明人 BACSA R(2) OUERGHI A(2) SERP P(2)
公开年 2013(9)
申请年 2011(9)
专利权人 CENT NAT REC.(6) CNRS CENT NA.(3) ARKEMA FRANC.(2) COMMISSARIAT.(2)
INST NAT POL.(2)