国家/地区 中国(8) 美国(5) 日本(4) 世界知识产权组织(4) 欧洲专利局(EPO)(3) 韩国(3) 台湾(2)
IPC部 C(9)
IPC大类 C01(9)
IPC小类 C01B(9) C23C(9) B32B(2)
B82B(2) B82Y(2) C04B(2)
C30B(2) H01L(2)
IPC C23C016/02(9)
发明人 CHEN L(2)
公开年 2015(9)
申请年 2014(5)  2013(2)  2015(2) 
专利权人