国家/地区 美国(8) 中国(7) 台湾(5) 韩国(4) 日本(3) 世界知识产权组织(3) 德国(2)
IPC部 C(14)
IPC大类 C23(14)
IPC小类 C23C(14) C01B(7) B82Y(4)
H01L(4) B01J(2) B32B(2)
B82B(2)
IPC C23C016/455(14)
发明人 LIU X(2)
公开年 2016(14)
申请年 2015(6)  2016(6)  2014(2) 
专利权人