国家/地区 | 美国(8) 中国(7) 台湾(5) 韩国(4) 日本(3) 世界知识产权组织(3) 德国(2) |
IPC部 |
C(14)![]() |
IPC大类 |
C23(14)![]() |
IPC小类 |
C23C(14)
C01B(7)
B82Y(4)
H01L(4) B01J(2) B32B(2) B82B(2) |
IPC |
C23C016/455(14)![]() |
发明人 | LIU X(2) |
公开年 |
2016(14)![]() |
申请年 | 2015(6) 2016(6) 2014(2) |
专利权人 |
LAKSHMANAN B, KAMEPALLI S, KAMMPARY S, AKESHIMAN B
TZENG Y, CHANG C, TZENG Y H
WU M Y, HSIEH C, PENG C, WU Y, XIE C, HSIEH C Y, PENG C S
ZARETSKI A, LIPOMI D J
KOSTAMO J, MALINEN T, LI W
SUH H, SONG Y, WU Q, LEE S, KIM M, PARK S, KIM M W, LEE S J, PARK S W, SONG Y J, SUH H S
GONG T, FENG H, HUI L, HUANG Y, LI J, QIN L, YAN N, ZHANG W