国家/地区 德国(6)
IPC部 C(6)
IPC大类 C01(6)
IPC小类 C01B(6)
IPC C01B031/04(4) H01L021/02(3) B82Y030/00(2)
B82Y040/00(2) C01B032/194(2) H01L021/324(2)
H01L021/768(2) H01L029/16(2)
发明人 RUHL G(2) RUHR G(2)
公开年 2016(6)
申请年 2015(3)  2014(2) 
专利权人 INFINEON TEC.(2)

JOU C, KO C, CHIU P, CHENG C, LU C, CHEN H, HSUEH F, HUANG C, JOU C P, KO C H, CHIU P W, CHENG C C, LU C C, HUANG C F, CHEN H N, HSUEH F L, HUANG Q, KE Z, QIU B, XUE F, ZHOU C, ZHENG Z, LV Z, WANN C H