国家/地区 中国(7)
IPC部 C(7)
IPC大类 C01(7)
IPC小类 C01B(7)
IPC C30B029/02(5) C01B031/04(4) C01B031/02(3)
C23C016/26(2) C30B025/18(2)
发明人 GUO H(7)
公开年 2012(6)
申请年 2012(6) 
专利权人 UNIV XIDIAN(7)