国家/地区 台湾(11)
IPC部 C(11)
IPC大类 C23(11) C01(10) H01(5)
B82(3) B01(2) C30(2)
IPC小类 C23C(11) C01B(10) B82Y(3)
B01J(2) C30B(2) H01B(2)
H01L(2) H01M(2)
IPC C23C016/44(11)
发明人
公开年 2015(2) 2016(2)
申请年 2016(2)  2021(2) 
专利权人

LIM J C, LEE J, JEON Y M, LIM S W, PARK J G, LEE H S, LIM H H, NAM S J, LEE E, LIM J, HYUN L J, IMSUNGWOO, HEE L, JIN N, PARK S