国家/地区 日本(10) 世界知识产权组织(3)
IPC部 G(10)
IPC大类 G01(8) C01(7) B82(4)
H01(3) B32(2) C23(2)
IPC小类 C01B(7) G01N(6) B82Y(4)
B32B(2) C23C(2) H01J(2)
IPC B82Y040/00(3) C01B032/194(3) B32B009/00(2)
B82Y030/00(2) C01B031/02(2) C01B032/174(2)
G01N001/28(2) G01N027/12(2) H01J037/20(2)
发明人 HASEGAWA M(6) OKIKAWA Y(3) ISHIHARA S(2)
YAMADA T(2)
公开年 2021(6)
申请年 2019(4)  2020(2) 
专利权人 NAT INST ADVANCED IND SCI TECHNOLOGY(10)