国家/地区 中国(8)
IPC部 C(8)
IPC大类 C23(8) H01(8) C01(5)
B82(3) B32(2) C30(2)
H05(2)
IPC小类 C23C(8) H01L(7) C01B(5)
B82Y(3) B32B(2) C30B(2)
IPC C23C016/26(8)
发明人 CHAI Z(2) HAN D(2) HAO Y(2)
NING J(2) WANG D(2) YAN Y(2)
ZHANG J(2)
公开年 2012(4) 2013(3)
申请年 2012(8)
专利权人 UNIV XIDIAN(3)